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纯度11个9!国产450mm半导体级单晶硅棒研制成功:支持28nm以下

在近日举行的Semicon China 2020上,新美光(苏州)半导体科技有限公司发布了450mm(18英寸) 11个9纯度的半导体级单晶硅棒,也就是纯度高达99.999999999%。

据新美光CEO夏秋良介绍,450mm半导体单晶硅棒采用国际最先进MCZ技术,代表国际先进水平,改变国内无自主450mm半导体级单晶硅棒的局面,将在28nm以下晶圆厂实现国产替代,在半导体晶圆厂自主化方面,发挥重要作用。

纯度11个9!国产450mm半导体级单晶硅棒研制成功:支持28nm以下
△新美光450mm单晶硅棒

新美光(苏州)半导体科技有限公司于2013年在苏州工业园区成立,依托中科院纳米所加工平台和育成中心,致力于先进半导体硅材料的研发、生产加工,获评江苏省科技型中小企业,高新技术企业,首批“新四板”挂牌企业,苏州工业园区瞪羚培育企业,上市苗圃培育企业,苏州市瞪羚计划入库企业,客户包括众多国内外知名半导体公司。

2019年12月,新美光完成了数千万元pre-A轮融资,由陕投成长基金领投,2020年6月份,又迅速的完成了新的一轮融资,由安丰创投领投。目前在建2万平米厂房,预计2021年4月封顶,2021年年底产线投产。

2020年6月28日,新虹产业园暨新美光项目开工奠基仪式在江苏省苏州工业园区举行。

纯度11个9!国产450mm半导体级单晶硅棒研制成功:支持28nm以下

据了解,新美光项目原为位于苏州工业园区赛科阀门旧厂房。2019年12月,苏州工业园区城市重建有限公司(简称“城市重建”)完成对其收购,并于2020年1月与苏州市瞪羚计划入库企业新美光(苏州)半导体科技有限公司签约开展厂房定建租赁合作。项目总建筑面积约2万平方米,计划于2021年下半年完成。

据此前城市重建官方消息显示,新美光成立于2013年1月,依托中科院苏州纳米所和中科院产业创新与育成中心,由原美资半导体公司研发技术高管夏秋良先生创立,致力于先进半导体硅材料的研发及产业化,提供半导体硅片一揽子解决方案,历时3年研发出业界最先进的450mm(18英寸)无缺陷单晶硅生长技术,计划未来3-5年内投资2亿元以上,将打造国内最先进的半导体硅材料研发及生产基地。

此外,新虹产业园项目建安总投资约1.8亿元,改造建成后总建筑面积约9.2万平方米,形成高附加值、高创新型、高带动型的智能制造产业集聚区,预计2021年6月底竣工。据悉,该产业院原为虹光精密工业(苏州)有限公司的土地和厂房资产。

天眼查显示,虹光精密工业(苏州)有限公司成立于1999年12月3日,是萨摩亚财富投资有限公司百分百控股子公司。公司注册资金2500万美元,总投资额达7200万美元,专注于多功能一体机/扫描仪以及其他光学产品的研发和制造。

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